半导体生产设备和设施的数据采集

・首先可通过DeviceNet从相关设备中读取数据或位信号（MFC或RF电源），或通过SPU模块使用PLC高速采集数据。 然后再将采集的数据传送至每道晶圆工序或批次对应的主机上。

优势/效果

・设计和启动时间显著降低

・提升数据处理能力显著提高

・通过缩小机器之间的差异提升生产率

・停工时间最小化

・提供预防性维护