扩散炉设备

扩散炉设备

    扩散炉用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。

课  题

    需要对多路温度同时监控，闭环控温，保证实际温度实时与设定温度一致。

解决方案

    使用CJ1P回路控制PLC的方式进行控制有以下优点:

    1.具有PID自整定功能，可显示当前工艺参数和设备的工作状态，能对炉温、阀门进行自动控制，并管理全部 工艺时序；

    2.具有可编程的升、降温功能，可以很方便地设置和修改工艺曲线和控制参数；

    3.具有超温报警、极限超温报警、报警安全保护功能；